真空提纯炉

应用于半导体行业,金属材料的提纯结晶,金属材料的纯度影响半导体芯片等产品的导电性能,故溅射靶材对金属材料的纯度提出了相当高的要求。设备由多级加热室组成,每级加热室的温度不同,通过多温度段加热实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。
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